GJ-SLM型系列气浮精密光学隔振平台
【说明】：GJ-SLM型气浮精密光学隔振平台是我司与中国科学院上海光学精密机械研究所的光学专家依据既要具备气浮平台的隔振性能，又要具有阻尼平台的稳定性的特点，而共同研制开发的又一款气浮阻尼型精密光学隔振平台销售价, 广泛运用于显微镜、医疗生物、光路测试、光学测量,激光扫描、激光干涉光谱实验、精密检测 集成电子;对振动要求非常高的仪器设备,该平台特点：具有气浮平台同样的隔振性能与隔振效果、在设计载负的范围内平台的稳定性可与阻尼平台媲美,，己专业与赛默飞赛默飞世尔科技(中国)有限公司的光谱仪，干涉仪等高精度测量仪器进行配套
1：【应用领域】：显微镜、医疗生物、光路测试、光学测量,激光扫描、激光干涉光谱实验、精密检测集成电子;对振动要求非常高的仪器设备
2：【性能指标】：
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固有频率 |
垂直：1.0～1.8Hz, 水平：1.0～1.5Hz |
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隔振方式 |
空气弹簧 |
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调平方式 |
手动 |
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阻尼方式 |
空气垫 |
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平台高度 |
800mm |
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工作压力 |
0.2～0.4MPa |
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隔振效率 |
垂直方向固有频率＜1.2Hz 隔离度 〉95% 5Hz 90% 10Hz 水平方向固有频率＜1.8Hz 隔离度 〉 90% 5Hz 98% 10Hz |
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台板平面度 |
≤0.02mm/m² |
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台板粗糙度 |
≤0.8μm，表面亚光处理 |
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调节高度 |
±10mm |
3.【技术参数】
1;以平台外形尺寸： 2400*1200*800mm空气垫自平衡精密光学隔振平台
2．平台台体结构： 平台台体整体结构为三层蜂窝夹芯钢结构
3.平台台体厚度： 200mm,
4. 台体台面材质; 1Cr17高导磁不锈钢（也称SUS430不锈钢）
5.台体内部结构：5mm碳钢蜂窝钢结构，防形变热处理工艺和整体框架焊接工艺加工，保证足够的刚性；
6.台体底板材质与厚度：优质中碳厚5mm
7.平台离地高度： 800mm
8.台面平整度： 0.02-0.05mm/m2 ；
9.台面粗糙度： 0.8微米；
10.台面螺孔距： 25*25mm ；
11.孔 径： M6 ；
12.振 幅： <0.0002um
13.台体内部结构： 采用5mm厚优质碳钢条压制成合并形成蜂窝钢结构，具有高抗强度最大（变形量）动扰度系数：0.551*10-3
14..防振系统 ： （每个平台配4点支撑空气垫隔振支撑架一套）
4点200*200mm方形钢管支撑架上端配置4个GJ-SLM空气垫，一次充气后无需重新充气 （具有水平高稳定性）
15.固有频率： 垂直1.0-1.8Hz、 水平1.0-1.5Hz；
垂直方向固有频率小于1.2Hz 隔离度 〉95% 5Hz 90% 10Hz
水平方向固有频率小于1.8Hz 隔离度 〉 90% 5Hz 98% 10Hz
4.【标准尺寸】：型号：GJ-SLM
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台板规格 |
台板尺寸（mm） |
固有频率 |
高度（m） |
载荷（KG） |
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009006 |
900×600 |
垂直：1.8Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜135 |
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010008 |
1000×800 |
垂直：1.8Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜200 |
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012009 |
1200×900 |
垂直：1.8Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜270 |
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015010 |
1500×1000 |
垂直：1.8Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜375 |
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018010 |
1800×1000 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜450 |
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020010 |
2000×1000 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜500 |
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012012 |
1200×1200 |
垂直：1.8Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜360 |
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015012 |
1500×1200 |
垂直：1.8Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜450 |
|
018012 |
1800×1200 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜540 |
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020012 |
2000×1200 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜600 |
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024012 |
2400×1200 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜720 |
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030012 |
3000×1200 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜900 |
|
035012 |
3500×1200 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1050 |
|
040012 |
4000×1200 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1200 |
|
050012 |
5000×1200 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1500 |
|
060012 |
6000×1200 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2000 |
|
015015 |
1500×1500 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜560 |
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018015 |
1800×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜675 |
|
020015 |
2000×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜750 |
|
024015 |
2400×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜900 |
|
030015 |
3000×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1125 |
|
035015 |
3500×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1300 |
|
040015 |
4000×1500 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1500 |
|
050015 |
5000×1500 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1875 |
|
060015 |
6000×1500 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2250 |
|
024018 |
2400×1800 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1080 |
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030018 |
3000×1800 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1350 |
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035018 |
3500×1800 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1575 |
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040018 |
4000×1800 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1800 |
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050018 |
5000×1800 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2250 |
|
060018 |
6000×1800 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2700 |
|
030020 |
3000×2000 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1500 |
|
035020 |
3500×2000 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1750 |
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040020 |
4000×2000 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2000 |
|
050020 |
5000×2000 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2500 |
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060020 |
6000×2000 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜3000 |
下图GJ-SLM空气垫
图是我司研制的GJ-SLM型系列气浮精密光学隔振平台
【已有业绩】
1;赛默飞赛默飞世尔科技(中国)有限公司
2;浙江大学
3;苏州大学纳米科学与工程学院
4;四川省成都市高新区吉泰路10号 汇顶科技大厦13楼
5;复旦大学先材学院
6;福州福光股份有限公司有限公司
