GJ-IV-ZDT-B型系列气浮自平衡隔振光学平台
利用单摆原理得到更低的水平方向固有频率。
蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台体,台板强度高,稳定可靠;隔振器采用摆杆的结构创新设计,该结构的水平固有频率相对于常规气浮平台较低,该支撑在水平方向有很好的隔振效果和承载能力。关键气动执行元件均采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。
2.【应用领域】:显微镜、医疗生物.光路测试、光学测量.激光扫描、激光干涉.光谱实验、精密检测。
3.【性能指标】:
固有频率 |
垂直:1.0~2.0Hz 水平:1.0~1.5Hz |
隔振方式 |
空气弹簧 摆杆隔振 |
调平方式 |
自动调平 |
阻尼方式 |
多小孔空气阻尼 |
平台高度 |
800mm |
工作压力 |
0.2~0.4MPa |
空气源 |
静音空气压缩机 <50dB |
隔振效率 |
垂直:5Hz时:86~92% ;10Hz时:90~95% 水平:5Hz时:88~94% ;10Hz时:92~98% |
重复定位精度 |
±0.1mm |
台板平面度 |
≤0.05mm/m² |
台板粗糙度 |
≤0.8μm,表面亚光处理 |
调节高度 |
±10mm |
4.【技术参数】
适合光程抖动振幅范围小于1/10个波长的干涉实验
以平台尺寸2400*1500*800mm说明
1)平台台面材质:1Cr17高导磁不锈钢SUS430;
2)台体总厚度: 200mm
3)平台离地高度: 800mm
4) 台面平整度: 0.05mm/m2
5)台体底板: 5mm
6)台面粗糙度: 0.8微米;
7)孔 距: 25*25mm;
8)孔 径: M6,
9)台体内部结构:材质采用5mm厚优质碳钢压制成蜂窝钢结构,具有高抗强度
最大(变形量)动扰度系数:0.771*10-3
10)防振系统 (每个平台配4点支撑-气浮式隔振支撑架一套,)
4点200*200mm方形钢管支撑架内采用内置二层膜片气囊,双气室结构,小孔阻尼,自动充气、自动调节平台水平,气动元件均采用德国FESTO产品(德国:费思托品牌,系进口顶级气动执行元件,恢复初始状态反应极快)
11)最大相对位移: 0.02μm;
12)固有频率: 垂直1.5Hz、水平1.0Hz;
垂直方向固有频率小于1.2Hz 隔离度 〉95% 3Hz 98% 10Hz
水平方向固有频率小于1.8Hz 隔离度 〉 90% 3Hz 98% 10Hz
5.【标准尺寸】:
台板规格 |
台板尺寸(mm) |
固有频率 |
高度(m) |
载荷(KG) |
009006 |
900×600 |
垂直:2.0Hz 水平:1.5Hz |
0.8 |
<135 |
010008 |
1000×800 |
垂直:2.0Hz 水平:1.5Hz |
0.8 |
<200 |
012009 |
1200×900 |
垂直:2.0Hz 水平:1.5Hz |
0.8 |
<270 |
015010 |
1500×1000 |
垂直:2.0Hz 水平:1.5Hz |
0.8 |
<375 |
018010 |
1800×1000 |
垂直:1.8Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<450 |
020010 |
2000×1000 |
垂直:1.8Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<500 |
012012 |
1200×1200 |
垂直:2.0Hz 水平:1.5Hz |
0.8 |
<360 |
015012 |
1500×1200 |
垂直:2.0Hz 水平:1.5Hz |
0.8 |
<450 |
018012 |
1800×1200 |
垂直:1.8Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<540 |
020012 |
2000×1200 |
垂直:1.8Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<600 |
024012 |
2400×1200 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<720 |
030012 |
3000×1200 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<900 |
035012 |
3500×1200 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1050 |
040012 |
4000×1200 |
垂直:1.2Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1200 |
050012 |
5000×1200 |
垂直:1.2Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1500 |
060012 |
6000×1200 |
垂直:1.2Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<2000 |
015015 |
1500×1500 |
垂直:1.8Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<560 |
018015 |
1800×1500 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<675 |
020015 |
2000×1500 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<750 |
024015 |
2400×1500 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<900 |
030015 |
3000×1500 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1125 |
035015 |
3500×1500 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1300 |
040015 |
4000×1500 |
垂直:1.2Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1500 |
050015 |
5000×1500 |
垂直:1.0Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1875 |
060015 |
6000×1500 |
垂直:1.0Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<2250 |
024018 |
2400×1800 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1080 |
030018 |
3000×1800 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1350 |
035018 |
3500×1800 |
垂直:1.5Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1575 |
040018 |
4000×1800 |
垂直:1.2Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1800 |
050018 |
5000×1800 |
垂直:1.0Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<2250 |
060018 |
6000×1800 |
垂直:1.0Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<2700 |
030020 |
3000×2000 |
垂直:1.2Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1500 |
035020 |
3500×2000 |
垂直:1.2Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<1750 |
040020 |
4000×2000 |
垂直:1.0Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<2000 |
050020 |
5000×2000 |
垂直:1.0Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<2500 |
060020 |
6000×2000 |
垂直:1.0Hz 水平:1.0Hz |
0.8 |
<3000 |