GJ-II-ZDT-P型气浮精密光学隔振平台
蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台板,台板强度高,稳定可靠;隔振器采用超薄复合材料气囊、带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能良好,系统稳定。自动水平,自动充气,关键气动执行元件均采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。
2.【应用领域】:显微镜、医疗生物、光路测试、光学测量激光扫描、激光干涉光谱实验、精密检测、集成电子,对振动要求非常高的仪器设备。
3.【性能指标】:
固有频率 |
垂直:1.0~2.0Hz 水平:1.0~2.0Hz |
隔振方式 |
空气弹簧 隔振橡胶 |
调平方式 |
自动调平 |
阻尼方式 |
多小孔空气阻尼 |
平台高度 |
800mm |
工作压力 |
0.2~0.4MPa |
空气源 |
静音空气压缩机 <50dB |
隔振效率 |
垂直:5Hz时:82~88% ; 10Hz时:86~95% 水平:5Hz时:78~86% ; 10Hz时:84~92% |
重复定位精度 |
±0.1mm |
台板平面度 |
≤0.05mm/m² |
台板粗糙度 |
≤0.8μm,表面亚光处理 |
调节高度 |
±10mm |
4.【技术参数】以2400*1200*800mm平台说明
1)平台台面材质:高导磁不锈钢SUS430;加工制造
2)台体总厚度: 200mm
3)平台离地高度: 800mm
4) 台面平整度: 0.05mm/m2
5)台体底板: 4-6mm
6)台面粗糙度: 0.8微米;
7)孔 距: 25*25mm;
8)孔 径: M6,
9〕振 幅: <1.2微米
9)台体内部结构:材质采用5mm厚优质碳钢压制成蜂窝钢结构,具有高抗强度
最大(变形量)动扰度系数:0.771*10-3-3
10)支撑方式 (每个平台配4点支撑-气浮式隔振支撑架一套,)
4点200*200mm方形钢管上端内采用内置二层膜片气囊,小孔阻尼,气压稳定平衡,
11)最大相对位移: 0.02μm;
12)垂直:1.0~2.0Hz 水平:1.0~2.0Hz
13)设计最大载负能力:2200kg
14)质保期:2年内免费保修